独拥四大连续制程设备 TEL成EUV出货大赢家

时间:2024-06-28来源:中时电子报

国际设备大厂东京威力科创(TEL)为全球唯一拥有沉积、涂布/显影、蚀刻、清洗四大连续制程设备之公司,是晶圆片进入EUV曝光前重要步骤。TEL宫城总裁神原弘光指出,随着芯片设计演进,蚀刻技术不断朝着3D化方向演进,垂直堆栈发展、更有效利用空间,然而堆栈层数的增加,在成膜次数跟蚀刻时间、次数也会随之增加,所需的机台数量同步成长。

EUV大厂拥有近乎100%市占率,TEL在涂布/显影与之紧密配合,同样近乎独占;换言之,只要EUV出货,TEL亦将同步受惠。TEL更透露,早已在台设置研发中心,近期更会扩增洁净室规模,与最先进制程业者合作,意谓着TEL也将拥有全球最先进设备。

TEL于东京股市挂牌,27日以3.48万日圆收市,市值达16.41兆日圆(,今年股价大涨37%。中国台湾设置研发中心先锋,TEL1996年中国台湾设立据点之初,便将总部二楼作为研发实验室,近期为因应中国台湾半导体地位提升,TEL近期拟规划将三楼新增洁净室,扩大规模、因应客户先进制程脚步加快。东京威力科创为全球前五大设备业者之一,核心业务涵盖四个连续制程。

与合作伙伴Litho(微影)机台搭配,TEL涂布/显影市占率近乎100%,也因为合作伙伴、客户都是业界最先进,强大的护城河,持续维持业界领先地位。TEL目前遍布19个国家、共计87个据点,其中,中国台湾员工人数仅次于日本,足见中国台湾半导体地位之重要性。

进入埃米时代,晶圆代工厂更加仰赖设备精细度,TEL已经做好准备,公司进一步分析,微缩下晶圆要求越来越严苛,更高端的制程,更加要求平坦化。据了解TEL最新推出的Grinder产品,不只是是为了确保晶圆的平坦化,也做到部分蚀刻平坦化及表面清洁,使设备可以针对平坦度及清洁进行量测。

日本政府与八家企业合力扶植的晶圆代工厂Rapidus作为2奈米晶圆代工,将开启日本制造时代,Rapidus社长小池淳义指出,日本有优秀的设备和材料厂商,但缺少重要芯片供应,期许日本半导体同业齐心协力,制造出能够为全球做出贡献的日本芯片。

TEL作为重要关键设备伙伴,将扮演关键要角、携手重振日本半导体雄风。

关键词: 制程设备 EUV TEL

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