历时 7 年研制,赛微电子 MEMS-OCS 光链路交换器件实现量产

时间:2024-01-02来源:IT之家

2023 年 12 月 24 日,北京赛微电子股份有限公司发布关于全资子公司 MEMS-OCS 启动量产的公告,全资子公司 Silex Microsystems AB 以 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems 的缩写,即微电子机械系统,简称为微机电系统)工艺为某客户制造的 OCS(Optical Circuit Switch 的缩写,即光链路交换器件)完成了工艺及性能验证(工艺开发与试产的总耗费时间超过 7 年),并于 2023 年 12 月 22 日收到该客户发出的批量采购订单,瑞典 Silex 开始进行 MEMS-OCS 的商业化规模量产。

据介绍,该 MEMS-OCS 基于 8 英寸 MEMS 工艺和设计技术制造,结构复杂精密,是一组由指定数量平面镜所构成的微镜阵列,可用于精确调节光链路的折射方向,实现光链路之间的信号切换与双向传播,提高运算系统的整体性能及稳定性,同时降低系统成本与功耗,可在数据中心网络、超算系统集群等场景中得到广泛应用。

IT 之家查询发现,北京赛微电子股份有限公司 2023 年 12 月 29 日又发布关于控股子公司 MEMS-IMU 通过验证并启动试产的公告,控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司代工制造的某款 MEMS-IMU(Inertial Measurement Unit 的缩写,即惯性测量单元)通过了客户验证,赛莱克斯北京收到该客户发出的采购订单,启动首批 MEMS-IMU 8 英寸晶圆的小批量试生产。

据介绍,IMU 是惯性测量定位的核心,是测量物体三轴姿态角(或角速率)及加速度的关键装置。MEMS-IMU 基于 MEMS 工艺技术制造,具有体积小、重量轻、能耗低等特点,以微小形态采集运动载体的加速度与角速度等惯性信息,可实时输出高精度的三维位置、速度、姿态等信息,并用于姿态平衡控制、导航定位、动作执行等环节。由于通过半导体工艺进行生产制造,MEMS-IMU 往往还可以集成多种 MEMS 惯性传感器的功能,同时具备极好的环境适应性,可被广泛应用于智能手机、可穿戴设备(包括 AR / VR / MR)、无人系统、智能驾驶、人形机器人等领域。


关键词: MEMS-OCS 赛微电子

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