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早在2018年底,中微半导体就曾对外透露,其自主研发的5nm等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于台积电的全球首条5nm制程生产线。值得一提的是,中微半导体也是唯一进入台积电7nm制程蚀刻设备的大陆本土设备商。据悉,中微半导体与台积电在28nm制程时便已开始合作,并一直延续到10nm和7nm制程。

近日,中微半导体发布会了在2019年的财报,2019年的收益达到了19.47亿元,同比增长为18.77%,而归母净利润为1.89亿,同比增长为107.51%,年报中表示公司开发的高端刻蚀设备已在各大国际知名厂商的65nm到7nm的芯片生产线上。

另外,财报还显示,中微半导体根据客户的需求已经开发出了5nm刻蚀设备,并且获得了行业领先客户的批量订单。虽然财报并未公开该“领先客户”的具体名字,不过应该可以确认是台积电,因为现在只有他们量产了5nm工艺。

而中微半导体5nm刻蚀机成功获得台积电的批量采购,也反应了中国厂商在半导体设备领域的大突破。

关键词： 中微半导体 5nm刻蚀机