ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究
根据理论分析和软件仿真，在没有等离子体时，射频电源已经和负载阻抗实现了阻抗匹配。当射频电源的功率为30 W时，等离子体虽然能启辉，但光亮很暗，此时反射功率为10．2 W，反射系数模值为0．33，反射系数模值比较高，系统处于失配状态，继续调整匹配网络的参数，使系统的反射功率降低直至零。如图3所示，此时射频电源显示反射功率为0，正向功率为30 W，反射系数Γ=0，能量全部为负载吸收，系统处于匹配状态，等离子体发出耀眼的光。如图4所示。
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