ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究
ALD中负载线圈是一个匝数为4，直径为120 mm的电感线圈。使用阻抗分析仪测得其电感量为1 900 nH。利用ADS软件中的Smith圆图功能调整匹配网络的参数值，把电路模型的阻抗调整到Smith圆图的中心点，即特性阻抗50 Ω，得到的结果如图2所示。此时得到一组阻抗匹配网络参数可用于没有产生等离子体的情况，如表1中等离子体产生前状态的参数值所示。
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ALD中负载线圈是一个匝数为4，直径为120 mm的电感线圈。使用阻抗分析仪测得其电感量为1 900 nH。利用ADS软件中的Smith圆图功能调整匹配网络的参数值，把电路模型的阻抗调整到Smith圆图的中心点，即特性阻抗50 Ω，得到的结果如图2所示。此时得到一组阻抗匹配网络参数可用于没有产生等离子体的情况，如表1中等离子体产生前状态的参数值所示。