Rudolph Technologies获MEMS检测设备订单

时间：2010-07-14来源：Rudolph

　　工艺表征设备和软件供应商Rudolph Technologies宣布，其NSX Series Macro Inspection System获得了来自德国ISIT的订单，用于先进MEMS工艺的开发。该设备将于今年夏天安装于ISIT的先进200mm MEMS试水线上。

关键词： MEMS 200mm

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