电子产品世界

尽管半导体景气度从 2022 年下半年显著回落，半导体设备是少数逆势高速增长的细分行业。作为 A 股半导体设备龙头，北方华创高管在 5 月 31 日举办的 2022 年度业绩说明会上表示公司目前在手订单充足，并预测受国产替代需求拉动，今年国内半导体设备行业仍有望持续增长。

2022 年，北方华创实现营业收入 147 亿元，同比增长约五成，净利润约 24 亿元，同比增长 1.18 倍；今年一季度公司实现净利润近 6 亿元，同比增长 1.86 倍。

「目前公司在手订单充足，2023 年 1-5 月新增订单相较去年同期增长超过 30%，其中以集成电路设备订单为主。」北方华创高管表示。

北方华创在半导体设备领域业务覆盖刻蚀装备、薄膜装备、立式炉装备、外延装备、清洗装备、卧式炉管设备等，去年电子工艺装备部分业务实现营业收入同比增长约五成。

在刻蚀设备领域，北方华创高管介绍，面向 12 英寸逻辑、存储、功率、先进封装等客户，已完成数百道工艺的量产验证，其中，ICP 刻蚀产品出货累计超过 2000 腔，8 英寸 CCP 刻蚀设备已批量供应市场，12 英寸 CCP 刻蚀设备已进入客户端验证。另外，公司用于存储器件的高深宽比刻蚀机已完成研发，进入工艺测试阶段，各项技术指标已基本满足客户要求。

对于刻蚀设备优势，北方华创介绍，公司自 2001 年开始研发 ICP 刻蚀设备，2005 年第一台设备进入大生产线量产，目前已有超过 2000 腔产品在数十家客户端实现量产应用，在数百道制程上成为客户的基线设备。

北方华创不是唯一一家在一季度实现增长的半导体设备公司，受益于国内半导体下游行业设备需求的不断增加。

盛美上海 2023 年一季度营业收入 6.16 亿元，同比增长 74.09％；归属于上市公司股东的净利润 1.31 亿元，上年同期盈利 431.12 万元，同比增长 2937.19％。

拓荆科技一季度实现营收 4.02 亿元，同比增长 274.24％；归属于上市公司股东的净利润 5371.8 万元，扭亏为盈。

华海清科今年一季度营业收入 6.16 亿元，同比增长 76.87％，扣非归母净利润 1.67 亿元，同比增长 114.46％。

芯源微同样披露了良好的一季报，期内营收 2.88 亿元，同比增长 56.89％，归母净利 6597.74 万元，同比增长 103.55％。

5 月 23 日，日本宣布把尖端半导体制造设备等 23 个品类列入出口管理限制对象名单，本次措施主要是增加了 6 大类 23 种管制物项，对华出口需申请许可。

在清单内的受管制物品在向中国大陆、俄罗斯等地区出口时，需要获得日本经济产业省的许可证。清单主要针对高端半导体制造设备，尤其是特别聚焦了 ArF 浸没式光刻、EUV 配套设备及部件、钴/钨等金属沉积、高深宽比刻蚀和硅锗刻蚀等技术指标较高、材料特殊、在先进制程有针对性应用的半导体设备品种，而光刻胶等日本优势的半导体材料则未在限制行列之中。

中信证券研报认为，中国大陆为日本主要半导体设备厂商的重要收入来源地区之一，出口限制主要针对先进芯片制造，符合预期，否则若全面限制、日本半导体相关产业也会有较大冲击。在这样的背景下，半导体设备以及零部件领域国产化进展备受关注。

广发证券整理了 2022 年国内晶圆厂的公开招标项目，以及相关半导体设备厂商的中标情况。2022 年，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为 26%。中标方面，2022 年，统计样本中的晶圆产线合计中标 1040 台设备，以量测、沉积类、热处理设备居多；国产设备整体中标比例约 30%，其中，硅片再生、气液系统、去胶、湿法腐蚀、PVD 设备的国产中标比例较高。

2022 年，国内半导体设备厂商合计中标 231 台设备，北方华创、创微微电子、中微公司、万业企业中标量领先，分别中标 64 台、28 台、22 台、21 台设备。

从这样的数据来看，国内半导体设备厂商已经有所成果，但仍有增长空间。根据 SEMI（国际半导体产业协会）数据，2022 年中国晶圆厂商半导体设备国产化率较 2021 年明显提升，从 21% 提升至 35%；国内半导体设备公在去胶、清洗、热处理、刻蚀及 CMP 领域内国产替代率较高，均高于 30%，但在光刻机、离子注入机等领域国产化率合计不足 5%。

半导体行业自 2022 年下半年进入下行周期，半导体制造商纷纷宣布削减 2023 年资本开支；对于国产半导体设备增长趋势，北方华创高管表示看好，预计受国产替代需求拉动，今年国内半导体设备行业仍有望持续增长。

关键词： 半导体设备

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