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介绍了用于电子束曝光机束斑和束流测量的高精度电流/电压转换放大器。根据束流极其微弱这一特定情况，为了得到超低漂移、超低噪声和强抗干扰的高精度性能指标要求，采用了对称补偿电路设计方案，合理选用高精度集成电路作为电路的核心器件。为了加强抗干扰能力，对关键技术进行了针对性的有效处理。通过实际工作运行，证明效果良好工作可靠，满足了电子束曝光机束斑和束流的高精度测量要求。

关键词： 高精度 微电流 测量放大器