差分放大器的不匹配效应及其消除

时间:2012-10-29来源:网络
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  如图7(b)所示,为了避免沟道效应,通常在源一漏离子注入时把注入方向(或圆片方向)倾斜7°左右,这样栅极多晶硅就会阻挡一部份离子,形成阴影区。结果,在源区或漏区就有一条窄区,它接收的注入较小,因而在注入退火之后,使源区和漏区边缘的扩散产生了细微的不对称。

  

由注入倾斜造成栅阴影区

图7(a)给出考虑有栅阴影存在时的结构图,在图中,如果阴影区出现在源区(或漏区),那么这两个器件不会因阴影导致不对称。在图中,即使标出了这两个管子在阴影区的源(或漏)极,这两个MOS管也不一样,这是因为M1管源区的右边是M2管,而M2管源区的右边是场氧。同样,M1和M2左边的结构也不一样。就是说在制造过程中,M1和M2周围的工艺步骤不一致。因此图8所示的结构更好。

  图8所示结构固有的不对称性可以通过在晶体管两边加两个虚拟MOS管的方法加以改进,因为这可以使M1和M2管周围的环境几乎相同,如图9所示。

  

栅阴影效应

  

增加虚拟管以提高对称性

  同时,在对称轴的两边保持相同环境也很重要。例如,在版图中,只有一个MOS管旁边有一条无关的金属线通过,这会降低对称性,增大M1和M2之间的失配。在这种情况下,也可以在另一边放置一条相同的金属线(见图10),最好的办法就是去掉引起不对称的金属线。

  

去掉引起不对称的金属线

  对于大的晶体管,对称性就变得更困难了。例如,在图11所示的差分对中,为使输人失调电压较小,这两个

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关键词: 差分 放大器 不匹配效应

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