电子产品世界

　　全球领先的真空设备和服务供应商Edwards公司将参加于3月20日至22日在上海新国际博览中心举办的中国国际半导体技术大会(SEMICON China 2012)。

　　总部位于英国的Edwards为历史悠久的全球品牌，其真空技术有助于减少污染、能耗和运营成本，涉及行业广泛，包括半导体、LED、太阳能，以及平板显示器(flat-panel display，FPD)领域。

　　Edwards的真空产品和尾气处理系统适用于所有要求减低环境影响的应用，能够缓减一系列环境威胁，包括来自于半导体生产的酸性和腐蚀性气体，并且实现总体碳排放为负值。Edwards 通过在一系列创新且经过验证的真空泵和系统中采用清洁的“绿色”科技，使得客户能拥有相对较低的设备投资和维护成本。

　　Edwards亚太区总裁Neil Lavender-Jones表示：“我们非常荣幸地参加本年度SEMICON China展会。中国的半导体行业正在稳步发展，并且完全坚定地实施尖端技术。Edwards的真空产品和尾气处理系统在这一发展过程中起着至关重要的作用。我们在展会上所展出的真空泵产品，充分体现了公司在生产极其可靠且具有高成本效益的真空解决方案方面所积累的数十年经验。”

　　Edwards展出的真空泵产品包括STP-iXR1606和STP-iXA3306磁悬浮泵两个新型号。集成式STP-iXR1606涡轮分子泵设计在性能和易用性方面均树立新的行业基准。该产品非常适合要求严苛的应用，包括CIGS太阳能制造、PVD镀膜，乃至低压CVD。

　　此外，Edwards将展示新型Spectra-G 3000尾气处理系统，以及iXH645/610、XDS35和GXS250/2600真空泵，Spectra-G 3000系统是市场领先的环保解决方案，适用于LED制造。随着LED成为中国十二五规划的核心焦点，Spectra-G 3000和iXH645能够为LED制造商提供实际价值。

　　欢迎SEMICON China 2012展会所有参观者莅临Edwards的E1号展馆1223号展位，公司代表将现场介绍并演示产品，并探讨何种泵和系统适合客户的应用。

关键词： Edwards 半导体 真空泵