热电耦加速度传感器的频率补偿

时间:2012-02-16来源:网络
热电耦式加速度传感器的频响是由其内部所用气体的物理特性热对流原理以及传感器电子学所决定的由于MEMSIC在大批量生产中所使用的气体的特性完全一致所以可以用一个简单的电路来对所有器件进行相同的补偿对于大多数应用来说不需要因为器件的不同而对补偿电路进行调整

关键词: 热电耦 加速度 传感器 频率补偿

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