微波多层板反钻孔之金属化孔互连

时间:2011-07-12来源:网络
3.2 反钻孔情况测量

  3.2.1 单面反钻孔(正面8-1-1)

  

  位置1(左上部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度313299140.035
介质层厚度4283131690.4225
反钻孔深度4192991920.48

  位置2(左下部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度359346130.0325
介质层厚度5393591800.45
反钻孔深度5463581880.47

  位置3(右上部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度332319130.0325
介质层厚度5083321760.44
反钻孔深度5153181970.4925

  位置4(右下部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度324311130.0325
介质层厚度5053241810.4525
反钻孔深度5113171940.485

  位置5(中心部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度341328130.0325
介质层厚度5183411770.4425
反钻孔深度5273351920.48

  3.2.2 两面反钻孔(正面8-1-1 、反面8-8-1)

3.2.2.1 正面反钻孔(8-1-1)

  位置1(左上部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度327313140.035
介质层厚度4973271700.425
反钻孔深度5023201820.455

  位置2(左下部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度324311130.0325
介质层厚度5023241780.445
反钻孔深度5143231910.4775

  位置3(右上部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度316303130.0325
介质层厚度4863161700.425
反钻孔深度4943041900.475

  位置4(右下部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度325311140.035
介质层厚度5083251830.4575
反钻孔深度5153042110.5275

  位置5(中心部)

终点起点单位值实际值(mm)
内层铜箔厚度343329140.035
介质层厚度5213431780.445
反钻孔深度5313571740.435

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关键词: 多层板 钻孔 金属 互连

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